南京特气供气系统设计安装 实验室气路工程特气供气系统

半导体、光伏、LED、TFT_LCD、光纤、科研院等行业的客户在工艺制程中会使用到易燃易爆/有毒有害/腐蚀性等各类特种气体SiH4, NH3, Cl2等；特气供气系统就是把各种特种气体在满足工艺制程要求的纯度、压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内。

南京特气供气系统设计安装 实验室气路工程特气供气系统组成部分

主要部件：特气系统主要包括气源供应(特气柜、BSGS)、特气分配(VMB)、特气输送(管道阀门等)、工艺过程控制(PLC自动控制器)、以及气体泄漏侦测、尾气处理等主要模块。

特气柜/气瓶架

用于半导体和LCD微电子等行业的特殊气体输送系统，特气柜通常用于有毒、易燃、腐蚀性气体，气瓶架可用于惰性气体。

☆根据客户实际情况自行设计、量身定制，安全美观、实用方便；

☆柜体采用3mm钢板，坚固防爆，观察窗口采用安全玻璃；

☆PLC控制和触摸屏操作，实现全自动钢瓶切换操作，简便直接；

☆可配备多路通讯端口供选择；

☆底座可加装电子秤；

气体分配箱/分配盘面                

适用于半导体和微电子行业特殊气体输送系统，分配箱多用于有毒、易燃、腐蚀性气体，分配盘面一般用于惰性气体；

☆主要起到对特气柜出来的气体进行二次分配的作用；

☆分为全自动、半自动和手动控制；

☆吹扫、真空功能可选；

特气输送管路/二次配管

尾气处理系统

根据需处理的气体种类不同，通过合适的燃烧、水洗、吸附、化学反应等对工艺机台排放的有毒有害尾气进行无害化处理，达到环保排放标准。

南京特气供气系统设计安装气体监控系统  

GMS/UMS气体中央监控系统，通过上位机远程显示特气房内BSGS/GC/CDS实时运行界面以及实时运行数据, 实时显示各个侦测器的数据以及侦测器的运行状态,实时显示VMB压力值, 双套管夹套压力数据采集, 当压力超限后报警；相应BSGS/GC/VMB的紧急切断, 当发生2级气体泄漏报警后，系统自动根据预先设定的程序切断BSGS/GC的主供气阀门； 数据及报警的归档和打印, 重要的数据和报警都进行归档，可以查看历史数据以了解过程中的工作状况，并可以将需要的数据打印出来。